Logosol久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)和高可靠性標(biāo)準(zhǔn)是業(yè)內(nèi)最廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。Prealigners 產(chǎn)品系列支持處理從 45 毫米到 480 毫米的物體，具有任何透明度，從不透明到完全透明。Logosol 獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件可實(shí)現(xiàn)與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的直接兼容和接口。

獨(dú)立用于高精度對(duì)齊45mm – 480mm 物體(包括方形和雙層基板)的自主設(shè)備，具有無(wú)需機(jī)械重新定位、卡盤加載和銷加載模式以及高精度選項(xiàng)即可處理多種尺寸物體的單一單元。

嵌入式用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)高效的中心計(jì)算和角度定向設(shè)備，具有對(duì) 45mm – 480mm 物體的對(duì)齊能力，并且易于與任何市場(chǎng)上可用的機(jī)器人集成。提供高精度和卡盤尺寸/材料選項(xiàng)。

邊緣處理創(chuàng)新的自主設(shè)備具有被動(dòng)邊緣接觸和零夾持力，是 Logosol 的邊緣夾持預(yù)對(duì)準(zhǔn)器技術(shù)的替代方案，可確保處理 75 毫米至 300 毫米的物體時(shí)無(wú)晶圓應(yīng)力和最大清潔度。標(biāo)準(zhǔn)和高精度模型。

快速交換具有快速交換功能的高通量預(yù)對(duì)準(zhǔn)器基于專有設(shè)計(jì)，允許晶圓卡盤加載低于引腳水平。

Logosol廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器產(chǎn)品系列的基礎(chǔ)是我們?cè)趦?nèi)部設(shè)計(jì)和開發(fā)各個(gè)方面的技術(shù)，從硅和機(jī)械設(shè)計(jì)到運(yùn)動(dòng)控制和軟件。這種垂直整合，加上我們 30 年為各種應(yīng)用開發(fā)大量預(yù)對(duì)準(zhǔn)器的經(jīng)驗(yàn)，使我們能夠?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)型號(hào)無(wú)法滿足其規(guī)格的客戶提供解決方案。