PIEZOSYSTEM JENA成立于1991年，是壓電機(jī)械納米定位系統(tǒng)和相應(yīng)的電子設(shè)備(如壓電驅(qū)動(dòng)器和放大器)的領(lǐng)先制造商之一。PIEZOSYSTEM JENA為全球客戶提供創(chuàng)新的高精度納米定位設(shè)備。他們的壓電執(zhí)行器和壓電驅(qū)動(dòng)器，納米定位解決方案，壓電控制器和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)可用于需要最高精度和高動(dòng)力的微定位和納米定位應(yīng)用。除了種類繁多的目錄產(chǎn)品外，還提供客戶特定的開發(fā)，以為某些應(yīng)用提供優(yōu)化的系統(tǒng)。20多年來(lái)，他們?yōu)樽詣?dòng)化技術(shù)，汽車工業(yè)，生物技術(shù)，電子，計(jì)量，激光技術(shù)，材料測(cè)試，機(jī)械加工，醫(yī)療應(yīng)用，顯微成像，顯微鏡，微操縱和半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的OEM客戶提供服務(wù)。

　　PIEZOSYSTEM JENA校準(zhǔn)干涉儀SP 15000 C

　　測(cè)量和校準(zhǔn)干涉儀SP 15000 C的測(cè)量范圍至少為15 m，設(shè)計(jì)用于在定位軸上進(jìn)行高精度的長(zhǎng)度，角度和直線度測(cè)量?？梢赃M(jìn)行連續(xù)的5 DOF同步測(cè)量。軸直線度的水平和垂直分量由可旋轉(zhuǎn)的光學(xué)器件測(cè)量。測(cè)量反射鏡是基于空心反射鏡和可旋轉(zhuǎn)的沃拉斯頓棱鏡的組合。其他附件包括直線度鏡和90°光束偏轉(zhuǎn)。